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回复：通过华子路线图基本可以认为2030 euv实用

那27.28年就该上了实验室了


说不定国产euv光刻机早就在生产芯片了


2026-08-16 12:30:29
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2030年是领先全球的软x射线量产ic，不是euv。别把euv想象能提升多少。目前已经遇到明显瓶颈。


EUV第一代能做10纳米就烧香了


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