这个ssmb evu 什么鬼？我看航吧传的神乎其神

感觉打了鸡血一样脑洞太大了

这东西一般是做研究用，我们这也准备搞一台

不感兴趣

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极紫外光（EUV），波长10~15nm，通过准分子激光照射靶材激发出等离子体获得。
EUV因为波长太短而很容易被大多数材料吸入，所以无法使用透镜，并且只能在真空环境中光刻。为了在光刻机中改变光线方向，需要使用反射镜来代替透镜，普通镜面的反射率不够，导致光源到达工作面时光强很弱，因此必须使用布拉格反射器（Bragg reflector，一种多层镜面，可以将很多小的反射集中成一个单一而强大的反射）。
在多重曝光与EUV光刻技术结合后，已把工艺节点推进到了等效3nm。
1KW的玩意搞光刻？怕是把感光胶都给烧没了！！！
不对，先是掩膜版被干废，然后才轮到光刻胶！！！

这种同步辐射更主要的用途是分析物质结构的变化，可以利用它丰富的频段进行观察，也有做一些直写光刻的，相当于定制化研究，效率很低，占地很大，只做光刻用途是大材小用

咱也不懂、外行看个热闹

也算一条技术路线。

说实话，看不懂，但是好像粗看上去也没啥毛病。光源就跟发电厂一样，周边弄一堆光刻设备接收光源。关键是商用难度和成本

类似于把科研用的激光直写光刻机堆在一起，用堆数量的形式弥补生产率

不感兴趣

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这个是同步辐射光源，搞研究用的
现在一些人听风就是雨，已经罔顾一般的科学规律了

应该没这么快

2035商用

在环形加速器上加入一个类似于波荡器的装置，当被加速的电子束通过这个装置的时候，从外部再打入一道高能激光。利用激光脉冲对加速器中的电子束进行强干预，这样电子束发出的辐射能量会更集中，也就是让环形加速器的同步辐射光源发出类似直线加速器的自由电子激光。结果就是，这束光既继承了同步辐射的纯净性（波长精度极高），又获得了自由电子激光的高能特性，这束光出光后，有很多手段可以调节功率，最终可以达致用于光刻。

这不是类似俄罗斯的x射线的路线吗？

条条大路，难度不一样，风景不一样

不感兴趣

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一个环，可以加多个激光和工作台，合理呀。
可能成本高些，但是产学研同时上，相互促进。

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