加速器做光刻和进行半导体器件微加工,是各国的同步辐射光源或其他光源的基本功能之一,并没有讲的那么神乎其神的,那个说这个是个新思路的人压根就是个外行,不意外的话只是个贴标签的水军
这东西不是说不能做,但是这个东西相当于生产系统要以光源为中心,然而半导体生产是以芯片流程为中心,光刻只是一个环节而已,如果光刻不能作为一个单独的设备存在,那么半导体厂的生产管理会面临很大的制约,甚至受制于光源的设计、施工、制造者,这风险太大了。
另外光源的用途是多用途的,把它专业化后浪费了它的99%的能力。
我认为一个可取的方式不是做成环形的,可以搞直线加速器,精简占地,单向出光,比较符合生产需要。