【林楠个人简介】

长期从事极紫外（EUV）光源在光刻及量检测方面的应用，拥有十余年大规模集成电路制造与测量设备科研、工程项目研发和管理经验。

主要研究方向：1. 极紫外光源； 2. 先进光刻技术； 3. 芯片量测检测方法

林楠是中国科学院上海光学精密机械研究所（简称上海光机所）的研究员、博导，国家级领军人才，现任超强激光科学与技术全国重点实验室副主任和精密光学工程部技术总师

北航布局的4大新兴学科群都发展得相当不错

1.校长领衔的智能网联汽车（校长交通出身），
2.医工交叉（北航、协和、首医合作，缺点是未拿到自己的三甲医院，未来看浙江能不能帮一下了），
3.集成电路（3个全国重，学术大牛、业界专家加持，近日北航3进制芯片问世，业界很轰动），
4.低空经济+商业航天（航空、航天向民用转变，科研成果变现，北航的拿手好菜）

DPP做不出来没受到业界认可跑路了，euv光源目前业界认可的是哈工的LDP方案，已经送进东莞基地了。