本篇论文通讯作者林楠，现任中国科学院上海光学精密机械研究所研究员、博导，国家海外高层次人才，超强激光科学与技术全国重点实验室副主任，精密光学工程部技术总师，中国仪器仪表学会集成电路分会委员，中国光学工程学会微纳专委会委员，曾任荷兰ASML公司研发科学家、研发部光源技术负责人。