表面处理技术分为下述种类：电化学方法（电镀、阳极氧化），化学方法（发蓝、磷化、钝化、铬盐处理、化学镀镍、化学镀铜等），热加工方法（热浸镀、热喷涂、热烫印、气氛热处理、堆焊），真空法（化学气相沉积CVD、物理气相沉积PVD）。
英文名称：vacuum plasma enhanced vapor deposition
真空等离子表面氮化工艺利用等离子体辅助化学气相沉(PECVD)可以在金属表面涂覆上不同性能的薄膜。在0.5~10torr真空度下的低气压含氮、碳和氢气氛下，以真空炉的炉壁作阳极, 以被处理的工件作阴极, 在阴阳极之间施加约500~l000V 直流电压,两极间的稀薄气体被电离，从而产生辉光放电，通过辉光放电将氮和碳渗入金属表层可以在模具表面形成50～100 μm的氮化层表面改性：等离子体可以在物体表面产生化学反应，改变表面物质的化学性质，从而改善其性能，如提高耐腐蚀性、耐磨性等。模具基材具有更高的硬度和更好的耐磨性，大大提高模具基体本身的承载能力。
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