上海新微化合物半导体4英寸、6英寸量产线项目:项目位于临港新片区,投产后项目生产砷化镓(GaAs)、锑化镓(GaSb)及磷化铟(InP)光电晶圆1000片/月,折合器件2000万块/月,氮化镓(GaN)及磷化铟(InP)射频晶圆2000片/月,总投资30亿元。
中微半导体临港产业化基地项目:项目位于临港新片区,总建筑面积约18万平方米。中微同时还在临港滴水湖畔建设约10万平方米的总部和研发中心。满足中微集成电路、泛半导体设备的研发、测试和产业化需求。
盛美半导体设备研发与制造中心:项目位于临港新片区,打造国内集成电路湿法设备龙头企业盛美半导体的全球主要研发及生产基地,项目预计2024年投产。
中航凯迈红外探测器生产基地项目计划投资额11亿元,具备年产各型焦平面探测器5000只(2024年)和扩展至1万只生产能力(2027年)。
概伦电子EDA研发中心和半导体高端测试设备中试基地项目:项目位于临港新片区,建筑面积3.7万方,预计2024年投入使用。
拓荆科技半导体先进工艺装备研发与产业化项目:该项目建筑面积约10万㎡,用于开发先进的ALD薄膜工艺技术及高产能设备平台,公司聚焦半导体薄膜沉积设备,是国内专用量产型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD设备领军企业。
芯源微临港研发及产业化项目:项目位于临港芯片区,总建筑面积约5.4万平方米,主要生产KCE单片式化学清洗机。