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光刻胶 有反射吗
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2023-05-22 20:31
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光刻胶(photoresist)在紫外线条件下可以发生化学反应,形成一个微小的图案来进行光刻制程,实现对硅片等衬底表面的加工。而对于反射方面,因为光刻胶是一种液体透明材料,光线在其表面会产生折射,同时也会在与空气或其他介质的界面处产生反射,但这种反射对光刻胶的影响较小。在实际应用中,通常采用透射式光刻机,在曝光的过程中通过光阑等技术限制反射,并在显影之前使用特定的去反射剂对抗反射,以确保良好的光刻品质。因此,光刻胶会有一定的反射,但不会对正常的光刻加工造成明显的影响。
IP属地:安徽
2楼
2023-05-28 13:03
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