果缨夏依吧 关注:12贴子:434
  • 1回复贴,共1
求助

光刻胶 有反射吗

只看楼主收藏回复



IP属地:安徽1楼2023-05-22 20:31回复
    光刻胶(photoresist)在紫外线条件下可以发生化学反应,形成一个微小的图案来进行光刻制程,实现对硅片等衬底表面的加工。而对于反射方面,因为光刻胶是一种液体透明材料,光线在其表面会产生折射,同时也会在与空气或其他介质的界面处产生反射,但这种反射对光刻胶的影响较小。在实际应用中,通常采用透射式光刻机,在曝光的过程中通过光阑等技术限制反射,并在显影之前使用特定的去反射剂对抗反射,以确保良好的光刻品质。因此,光刻胶会有一定的反射,但不会对正常的光刻加工造成明显的影响。


    IP属地:安徽2楼2023-05-28 13:03
    回复