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WSS(wafer support system)晶圆承载系统

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WSS这种均匀的支撑方式可以使得晶圆减薄后的最小厚度能够达到20微米,且在晶圆减薄后,玻璃载板可支持晶圆减薄后的任何工艺,如蚀刻、CMP(化学机械研磨)、金属沉积等,同时也能够轻松地将晶圆转移到切割胶带或切割框架上,只需要通过激光进行脱胶处理,便可剥离、移除玻璃载板。
这种工艺 成熟不?比起Taiko的工艺 哪个更好


IP属地:上海1楼2022-09-23 14:39回复