微波等离子体接口可用于模拟波加热放电，当电子在渗透等离子体时可以从电磁波获得足够的能量来维持这种放电。根据传播模式采用 TE 模式（面外电场）还是 TM 模式（面内电场），微波等离子体的物理场区别相当大。在这两种情况下，电磁波都无法穿透电子密度超过临界电子密度（在 2.45 GHz 下，对于氩气约为 7.6x1016 1/m3）的等离子体区域。微波等离子体的压力范围非常广。对于电子回旋共振 (ECR) 等离子体，压力大约为 1 帕量级或更低。对于非 ECR 等离子体，压力范围通常从 100 帕到一个大气压。功率范围可以从几瓦一直到几千瓦。由于微波功率成本的降低，微波等离子的应用近年来越来越广泛。微波等离子体接口需要等离子体模块和 RF 模块。
