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非接触,高精度位移传感器

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苏州创视智能技术有限公司自主研发生产的TS-P系列激光三角位移传感器,能够实现0.05µm的重复精度,±0.02%ofF.S.的线性精度,50kHz的测量速度,支持485、模拟量、外部电平触发、USB、以太网等数据传输接口,其中前三种可以直接从探头接出。产品被广泛应用于3C电子、半导体、光伏、新能源、汽车制造、市政检测等行业。
产品型号支持根据客户需求定制,定制参数范围包括参考距离10~1500mm,测量范围5~2500mm,重复精度20ppmofF.S.,线性度低于±0.02%ofF.S.,采样频率最高160kHz

TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度,±0.02% of F.S.的线性精度,10kHz的测量速度,以及±60°的测量角度,能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。
产品型号支持根据客户需求定制,定制参数范围包括参考距离1~150mm,测量范围0.1~50mm,测量角度±5°~65°,光斑直径1~100 µm,横向分辨率0.5~50 µm,纵向分辨率4~2000nm,采样频率最高30kHz



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