是的,土鳖这几年已经突破光刻机核心技术:
无论AMSL还是尼康,都是采购德国蔡司光源、亚琛物镜技术的组装产品。值得一提的是,当前中国在深紫外光源技术上取得了较大突破,在连德国亚琛(AMSL和尼康的光源供应商)也只有准分子激光光源的情况下,全世界只有中国有技术采集到激光固态8倍频的深紫外线相干光。准分子激光器得到的深紫外线相干光有很多缺点,光束的线宽、模式达不到应用仪器的要求,而且操作十分不便。因此全世界都在致力于利用固态激光照射晶体截取倍频相干光来得到固态,稳定并且能小型化的深紫外线相干光。而中国的科学家许祖彦是全世界首个通过棱镜耦合技术采集到全固态激光8倍屏深紫外线相干光的人。
深紫外全固态激光源指输出波长在200纳米以下的固体激光器,与准分子激光器等现有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。
中科院自上世纪90年代初开始研究深紫外非线性光学晶体和激光技术,经过20多年努力,在国际上首次生长出可直接倍频产生深紫外激光非线性光学晶体,并发明棱镜耦合技术,率先发展出实用化的深紫外固态激光源,使中国成为当今世界上唯一掌握深紫外全固态激光技术的国家,目前这项尖端技术是对美国等西方国家出口管制的(我们也对西方禁运了,呵呵)。
★此外,中国的物镜技术目前也实现了对西方的赶超。当前德国蔡司的亚纳米精度的镜片数值孔径为1.35(尼康的NSR-S620D为1.25),且用磁流变设备和离子束设备辅助手工加工,效率较低。而中国已实现数值孔径位1.35的亚纳米镜片自动加工能力,倭奴这方面望尘莫及。
