光刻机和蚀刻机还是独立两台机器，也就是说，移动是不可避免的。

机械移动只带光谱范围内，精确的坐标是光线移动不是机械移动，我猜的

知识盲区，告辞

记得传统光学显微镜的分辨率是200nm（可见光最小波长400纳米的一半），也就是说光路只能分辨200nm的东西，再小的东西再怎么放大都会出现光波的干涉，光刻机能分辨7纳米，用的是波长更短的紫外光，
移位的话，应该是用微型伺服电机带动光路镜片实现精确的矢量位移。