管式PECVD【pecvd吧】

01月24日漏签0天

pecvd吧关注：111贴子：278

13回复贴，共1页

<返回pecvd吧

管式PECVD

只看楼主收藏回复

管式PECVD遇到翘片!!!!!!!色差!!!朋友们有招吗?

送TA礼物

1楼2008-07-01 21:23回复

从事这个行业已三年了主攻CETC48管P,翘片色差头痛呀!平板不会出现翘片色差吧?必定是微波辉光嘛.

2楼2008-07-01 21:37

收起回复

不感兴趣

开通SVIP免广告

翘片如果是管式的话应该是插片没插好或者是电压过大色差当然是膜不均匀啊和SIH4以及HF 温度有关了

3楼2011-02-02 13:13

收起回复

你是工艺还是设备！色差这个工艺应该能解决的，

来自Android客户端5楼2015-02-16 05:09

色差检查下流量计吧。

IP属地:安徽

来自Android客户端6楼2015-12-30 22:13

色差的问题是个系统问题，制绒绒面，石墨舟，机台稳定性，硅片电阻率等都有可能导致色差，可以细聊哈！

来自Android客户端8楼2016-02-29 22:02

收起回复

色差的话你看看做工艺的时候SIH4.NH3的流量波动大不大？更换流量计试试，换SIH4的时候一定要小心，手阀关了后吹扫半个小时以上再换。还有就是射频电源，看看功率和电流稳不稳定，试着改下占空比

IP属地:浙江

来自Android客户端9楼2016-03-06 09:09

如果PECVD出来的色差值不高，但是又需要再降低色差值，有没有可以不用返工的方法。临时处理一下的方法。

12楼2019-04-17 16:22

收起回复

不感兴趣

开通SVIP免广告

有没有谁家二手PECVD管式炉出售或者转让的？

13楼2024-02-28 11:36

扫二维码下载贴吧客户端

下载贴吧APP
看高清直播、视频！

贴吧热议榜

13回复贴，共1页

<返回pecvd吧

发表回复

发贴请遵守贴吧协议及“七条底线”贴吧投诉

内容:

使用签名档查看全部

发表

保存至快速回贴

日	一	二	三	四	五	六

管式PECVD

登录百度账号

扫二维码下载贴吧客户端