RCA硅晶圆片湿法刻蚀清洗机
本设备适用于去除硅晶圆片工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。设备由清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机部分组成。清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。关键件均采用进口原件，包括气动阀，PFA管道，全氟循环系统等，保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。 整体采用德国进口工程塑料焊接组合加工而成，结构合理，外型美观。工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。 人机界面为触摸屏，方便直观，操作简便。.除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。设备适用于微电子半导体行业，也适合于高校化学实验室作实验湿台、腐蚀台。非标规格，具体规格依客户工艺确定。
江苏华林科纳半导体设备技术有限公司主营的氟类塑胶制品(PFA、PVDF、PTFE、ETFE等)产品包括阀门、接头、软管、泵、流量计、过滤器、焊条等。产品通过国家ISO9000:2000质量认证，其产品全球闻名，广泛用于化工、石油、氯碱、冶炼、制药、染料、食品、电镀、环保、纯水等工业领域。为了适应市场竞争及满足客户需要，公司持续不断的关注客户需求，让我们的产品不仅能够满足客户当前的需求，还可以帮助客户分析一些潜在问题和满足行业内涉及的一些特殊需求。AFST公司长期为客户提供各类PVDF、PTFE、PFA氟类材质防腐桶、槽制品的焊接加工。
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