与湿法清洗相比,等离子清洗的优势表现在以下8个方面: (1)在经过等离子清洗以后,被清洗物体已经很干燥,不必再经干燥处理即可送往下道工序. (2)不使用三氯乙甲ODS有害溶剂,清洗后也不会产生有害污染物,属于有利于环保的绿色清洗方法. (3)用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同,它的方向性不强,因此它可以深入物体的微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务,所以不必过多考虑被清洗物体形状的影响,而且对这些难清洗部位的清洗效果与用氟里昂清洗的效果相似甚至更好. (4)整个清洗工艺流程在几分钟即可完成,因此具有效率高的特点. (5)等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa,这种真空度在工厂实际生产中很容易实现.这种装置的设备成本不高,加上清洗过程不需要使用价格昂贵的有机溶剂,因此它的运行成本要低于传统的清洗工艺. (6)由于不需要对清洗液进行运输,贮存,排放等处理措施,所以生产场地很容易保持清洁卫生. (7)等离子清洗的最大技术特点是:它不分处理对象,可处理不同的基材,无论是金属,半导体,氧化物还是高分子材料(如聚丙烯,聚氯乙烯,据四氟乙烯,聚酰亚胺,聚酯,环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理,因此,特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料.而且还可以有选择地对材料的整体,局部或复杂结构进行部分清洗.(8)在完成清晰去污的同时,还能改变材料本身的表面性能,如提高表面的润湿性能,改善膜的附着力等,这在许多应用中都是非常重要的.
等离子清洗的特点和优势-郑州成越科学仪器有限公司









