压电材料性能的改进以及新型压电材料的研制成功极大地推动了压电传感器的进
步。从最开始的石英到BaTi03压电陶瓷,错钦酸铅(PZT)压电陶瓷,再到压电聚合
物如聚偏二氟乙烯(PVDF)等新型压电材料[2l。压电材料制备工艺的进展对压电材料
的应用及理论研究具有推动作用,单晶技术的进展培育了许多实用化的压电材料,薄膜
工艺的进展为压电器件的平面化、集成化创造了条件。压电材料的这一系列进步为设计大量
高性能的压电元件提供了技术保障。
压电加速度传感器由最初的基座压缩式结构形式,这种结构因易受外界环境影响,
后演变为中心压缩型,然后又改进为性能最佳的各种剪切型设计,如环形剪切型。虽然
剪切型的各种性能优异,但是剪切型的结构决定了它不能承受较强的冲击。