摘要:
本发明公开了一种真空镀膜机扩散泵的冷却系统。它包括两个水箱、水泵、真空镀膜设备及控制水阀,该一号水箱底端出水管道a依次经过第一水阀(1)、第一水泵M1和第二水阀(2),接到真空镀膜机的冷却水进水口,形成真空镀膜机的冷却水进水管路,一号水箱底端出水管道b接到二号水箱底端出水管道c,形成排水管路,一号水箱的进水管道f依次经过第四水阀(4)和第二水泵M2,接到二号水箱的底端出水管道d,形成从二号水箱到一号水箱的水流通路;该二号水箱的顶部入水管道e经过第三水阀(3)接到设备的出水口,形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路,实现水的循环。本发明避免了水浪费和环境污染,可用于高等学校实验室的真空镀膜实验。

主权项:
一种真空镀膜机扩散泵的循环冷却水系统,包括:循环水存储容器、水流回路管道、水泵、真空镀膜设备以及控制水阀,其特征在于循环水存储容器采用两个水箱,该一号水箱底端出水管道a依次经过第一水阀(1)、第一水泵M1和第二水阀(2),连接到真空镀膜机的冷却水进水口,形成真空镀膜机的冷却水进水管路,一号水箱底端出水管道b连接到二号水箱底端出水管道c,形成排水管路,一号水箱的进水管道f依次经过第四水阀(4)和第二水泵M2,连接到二号水箱的底端出水管道d,形成从二号水箱到一号水箱的水流通路;该二号水箱的顶部入水管道e经过第三水阀(3)连接到设备的出水口,形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路。
该专利无引证信息