3.微纳米虎
在氮化物微结构及微器件加工方面,美国堪萨斯州立大学半导体中心在国际上享有崇高的地位,尤其是它们在紫外/蓝光微激光技术领域。图3是该机构利用电子束平版印刷技术雕刻的老虎徽标,老虎头徽标的尺寸约10微米左右。 该图案将被用来制作微米量级的LED灯。


4. 微纳米兔子
前面列举了双光束聚合的“纳米牛”纳米雕塑。除了纳米牛外,近年来还出现了一大批其它的双光束聚合优秀微雕作品。它们是40微米高的维纳斯像、500微米长的空心针头、60微米的蜘蛛……等。图4显示的是一只30微米长的小白兔。这些作品均出自德国科学家A. Ovsianikov等人之手,每一件作品的尺寸都比我们的头发丝细小许多。能将微雕艺术发挥得如此出神入化,恐怕艺术大师们也要为之赞叹。
此外,美国伦斯勒工业大学约翰?哈特教授最近使用大约1.5亿根纳米碳管制作了一组花花公子的兔子画像,如图5所示。这是一幅在电子显微镜下才看到了纳米碳管兔子画像。每个微型兔子头像包含上亿个纳米碳管,这些纳米碳管像丛林中的树木一样垂直地排列着,每个纳米碳管都是中空圆柱体结构,其直径仅为人体头发的五万分之一。
为了创建纳米碳管兔子画像,哈特先是将宏观的兔子图像进行缩小,并将缩小的头像打印在一个玻璃板上。然后,照射紫外线穿过这个玻璃板板,将图像投影在一张硅片上。接着,他巧妙地在硅片表面有头像的地方“撒”上催化剂,并使用高温化学气相沉积(CVD)方法在有催化剂的地方生长纳米碳管。最后,研究人员使用电子显微镜对硅片进行了拍照,得到了尺寸仅有几百微米大小的小兔子。