“光刻工厂”眼下更像一个形象化概念，而不是已经建成投产的项目。它背后的技术支点，是“稳态微聚束”，也就是SSMB。
2021年，清华团队与德国合作机构在《自然》发表成果，完成SSMB原理的首次实验验证，证明这条路线有望产生高功率、高重频的相干辐射；清华方面随后提出，SSMB未来可能用于13.5纳米极紫外光源。
到2025年，清华公开资料显示，团队已提出千瓦级EUV光源物理方案，关键技术研究仍在推进。这和阿斯麦现有EUV路线不是一回事。
阿斯麦追求的是单机高度集成；SSMB设想则利用大型电子储存环获得高平均功率EUV，把过去必须塞进一台设备里的“光源”部分，变成更接近大型科学装置的基础设施。
熊
