N+3初期良率甚至好于N+2

个人感觉N+3算是的N+2的大改款，更新主要集中在对euv依赖比较大的beol层，可能华子和中芯想看看到底duv能不能干成，事实证明可以。下一代同步更新feol和meol才是真正的N+3。